Sonde de pression capacitive

L'élément capacitif est un capteur en céramique à plaques parallèles. Les électrodes dans le diaphragme et le substrat sont réimprimés par une pâte organométallique, les deux éléments sont scellés ensemble avec une pâte de verre, cette pâte de verre crée un effet hermétique. Lorsque la pression est appliquée sur la surface du diaphragme (zone active), elle se déforme, ce qui entraîne une modification de la capacité. La variation de la capacité a une relation proportionnelle à la valeur de la pression. Le diaphragme ne sera pas endommagé même s'il est entré en contact avec le substrat en cas de surcharge. Une fois que la pression est revenue à la normale, ses performances ne seront pas affectées. Sa conception augmente considérablement la capacité de surcharge du capteur.

Il s'agit d'une version améliorée du capteur de pression en silicium par diffusion. Le capteur a une stabilité élevée en température et dans le temps et peut entrer en contact avec la plupart des milieux directement. Une fois le capteur de pression capacitif en céramique assemblé, il sera étalonné par ASIC pour assurer la tension de sortie ou l'impulsion précision de la modulation de largeur pour atteindre la norme définie sous une pression spécifique. Capteur de pression capacitif en céramique sans transmission de liquide et sans liquide de remplissage. Le plus important est qu’il ne produira pas de pollution liée aux processus. Et en raison de sa haute précision et de sa grande fiabilité, présentant ces caractéristiques, il est largement utilisé dans les domaines de l’alimentation, de la médecine, de la réfrigération, de l’automobile et de toute autre industrie.

Schéma de fonctionnement
Principe de fonctionnement capteur de pression


Comprendre les spécifications de performance

La précision du capteur est spécifiée de différentes manières afin de vous aider à trouver le meilleur capteur pour une application particulière. Les spécifications incluent la précision (bande d'erreur statique et totale), la linéarité, l'hystérésis, la répétabilité, l'étalonnage et la température.


Précision

Le terme exactitude a de nombreuses définitions différentes. La plus communément admise est qu’il s’agit de la somme des erreurs dues à la linéarité, à l’hystérésis et à la répétabilité à la température ambiante. Certains fabricants utilisent le carré de la somme des racines de ces trois sources d'erreur. Présentée sous forme de pourcentage d'étendue (% span écrit et également% FS est l'abréviation de span complet). L'étendue sur l'axe de pression est la plage de pression totale d'un dispositif (par exemple, pour un appareil de 0 à 100 psi, elle est de 100 psi; pour un appareil de 200 à 500 psi, elle est de 300 psi). L'étendue sur l'axe de sortie du dispositif correspond à la plage de sortie de pleine échelle (par exemple, pour un dispositif de 0,5V à 4,5V, elle est de 4,0V).


Linéarité (ou non - linéarité)

La linéarité est la déviation maximale de la sortie du capteur par rapport à une ligne droite de meilleur ajustement (BFSL) mesurée uniquement avec une pression croissante. ll est typiquement exprimé en ± x% FS. Une erreur de linéarité typique est illustrée à la figure 5.

Schéma linéarité sonde pression


Hystérèse

Hystérésis différence maximale de sortie du capteur à une pression lorsque cette pression est d'abord approchée lorsque la pression augmente, puis approchée lorsque la pression diminue pendant un cycle de pression à plage complète. Il est indiqué comme inférieur à x% FS. Une erreur d'hystérésis est illustrée à la figure 6.

Schéma de l’Hystérésis des sondes de pression


Répétabilité

La répétabilité est la différence maximale de sortie lorsque la même pression est appliquée, consécutivement, dans les mêmes conditions et approchant de la même direction. La répétabilité est déterminée par deux cycles de pression et est indiquée comme étant inférieure à x% FS. L’erreur de répétabilité est illustrée dans
Figure 7.

Schéma de répétabilité des sondes de pression

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